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apt(原子探针层析技术) 发布于:

原子探针层析技术(Atom Probe Tomography, APT)可以确认原子种类并直观地重构出其空间位置,相对真实地显示材料中不同元素原子的三维空间分布,成为空间分辨率高的分析测试手段 。

APT是一种在原子尺度上提供三维(3-D)断层扫描图像和化学识别的技术。该技术结合了高空间分辨率和高化学灵敏度。 空间分辨率的深度为0.3nm,横向为0.5nm。 大多数元素的化学敏感度为几十ppm。

APT需要将样品制备成针状,其顶端半径为50-100 nm。 低温冷却针样品(25-100K)用DC电压(2-15 kV)偏置。在针尖处产生的静电场(几十V / nm)与脉冲激光或脉冲电压相结合,触发一个或多个原子从顶点表面蒸发。使用位置敏感探测器(PSD)记录每个探测到的离子的位置,同时基于飞行时间计算化学特性。


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